工业进阶级半自动清洗机 MYFC S500 可洗净各式物件, 如 FOUP, FOSB, SMIF, 或各种载具, 零件以降低污染及湿度,拥有业界最高效率,最小占地, 并配有纯水加热清洗/氮气/CDA干燥/IR干燥功能的离心力式清洗机.

~ 单双开门设计(可客制)

~ 机台内环境 Class 100

~ 可同时放八个 FOUP/FOSB

~ 客制化治具应付多样洗物

~ 可使用客供清洁剂清洗

~ 机台尺寸W/L/H 1.5mx1.5mx2.6m